基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制

作者：李玉台; 崔大付; 刘长春

来源：微纳电子技术, 2007, Z1: 407-409+416.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2007.z1.016

• 微型色谱柱
• 气相色谱
• 微机电系统 micro column
• gas chromatography
• MEMS

描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱,这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道,再与Pyrex7740玻璃进行键合密封。色谱柱全长6m,色谱通道截面为矩形(宽100μm,深100μm),针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验,理论塔板数达到了4800,分离时间为185s。

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 传感技术国家重点实验室