本文针对OLED喷墨打印过程中存在角度、直线度误差的问题,确定基板载台在运动平台中的主要误差为偏摆误差(Yaw)和水平直线度误差。通过激光干涉仪测量出基板载台的偏摆误差和水平直线度误差,并将这些误差数据输入运动控制器中。设计一种基板微动台机构,能牢固地吸附住基板,实现偏摆误差和水平直线度误差补偿。微动台能够完成基板微小角度纠偏。
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