高灵敏度电容式柔性压力传感器的设计与优化

作者：吴其皓; 廖鹏飞; 茅寅; 戴隆超^*

来源：传感器与微系统, 2023, 42(04): 107-110.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)04-0107-04

• 压力传感器
• 碳纳米管
• 微结构电极
• 高灵敏度

设计了基于微结构化电极与复合介电层的柔性压力传感器。传感器以碳纳米管(CNTs)与聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为电极层材料，采用工艺简单且成本低的旋涂技术将砂纸作为模板并引入CNTs制备结构化电极，同时引入CNTs对介电层进行掺杂。分析了结构化电极与介电层掺杂不同质量分数CNTs对传感器灵敏度的影响。通过2步优化使得传感器在具有60目砂纸构建的微结构电极，且CNTs掺杂质量分数为复合介电层的2.5%时，具有更高的灵敏度(0.602 kPa-1),快速响应(100 ms)以及良好的循环稳定性(240次)。

• 单位
  扬州大学