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摘要
随着太赫兹科技的发展，电学精密器件的制造需求增加。微结构特征的尺寸精度、表面质量等对高频电学器件的电学性能有重要影响。目前要求的特征尺寸为数十微米、精度数微米、表面粗糙度数十纳米、侧壁陡直度±1°，并且整体呈现典型的跨尺度特征。围绕现实需求，介绍了为满足高频电学器件核心技术指标要求而开展的微槽特征截面的控形技术、高频脉冲电加工电源技术、加工过程伺服控制技术、大长径比微结构特征随动走丝切槽技术等微细电火花加工关键技术；进行了完整器件的精密制造，并通过相关物理特性测试验证了器件的性能以及微细电火花加工技术在高频电学精密器件中的有效性。
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单位中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
