基于有限元模拟的微铜柱互连点热失效分析

作者:贾东生; 李海柱; 马玉琳; 秦进功; 田野*
来源:河南科技, 2022, 41(05): 41-44.
DOI:10.19968/j.cnki.hnkj.1003-5168.2022.05.009

摘要

采用有限元模拟法,研究了微铜柱互连点在热冲击载荷条件下的应变和应力,并分析了微互连点的裂纹生长情况。结果表明,封装结构最外侧的微互连点为最易失效互连点(关键互连点)。累积塑性应变能密度主要集中在芯片侧铜焊盘附近,且由外向内逐渐递减,这表明裂纹形成在芯片侧,并沿着焊盘由外向内扩展,最终贯穿整个互连点。试验结果与模拟分析一致,进一步验证了模拟结果对裂纹生长的分析的合理性。

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