摘要

MEMS传感器具有很多新的特性,在物联网快速发展的情形下,具有很好的发展前景。文章首先介绍了MEMS传感器的概念与特点,然后着重对两个MEMS传感器的发展现状进行了分析,最后对MEMS传感器的应用及发展方向进行了总结。

  • 单位
    山东科技职业学院