锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究

作者：周炜; 欧阳程; 吴敬; 高艳卿; 黄志明

来源：红外与激光工程, 2014, 43(04): 1073-1079.

• 锰钴镍铜氧
• 薄膜
• 红外探测
• 负温度系数

报道了锰钴镍铜氧薄膜(Mn1.56Co0.96-xNi0.48CuxO4,MCNC,x=0,0.08,0.16,0.24)的红外探测器件的制备过程及器件性能。通过改变掺杂Cu的比例,制作了系列MCNC薄膜材料及红外探测器件。实验结果表明,对于一定厚度及尺寸的薄膜器件,铜的掺入能显著减小器件的阻值及器件噪声,弥补了负温度系数的减小的缺点。器件时间常数约为2040ms。掺铜量为0.24的薄膜器件的探测率为0.83×107cm·Hz1/2W-1,相比同样规格的锰钴镍器件提高了约130%。此外,对于MCNC薄膜器件的老化现象进行了初步探讨。

• 单位
  红外物理国家重点实验室; 中国科学院上海技术物理研究所