一种基于FBAR技术的5.5GHz滤波器芯片的研制

作者：李丰; 李丽; 钱丽勋; 李宏军

来源：信息记录材料, 2019, 20(08): 76-77.

DOI：10.16009/j.cnki.cn13-1295/tq.2019.08.049

• 薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器
• 5.5GHz
• 空气隙
• 芯片

报道了一种工作于5.5GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片。首先制作了一种串联谐振频率为5.5GHz的谐振器,采用该谐振器模型设计并实现了5.5GHz FBAR滤波器芯片。微波探针测试结果显示,中心插损为1.68d B,1d B带宽105MHz,5.3GHz处抑制为39.66d Bc,5.7GHz处抑制为48.42d Bc。实现了5.5GHz窄带滤波器的芯片化。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所