高功率射频微系统的微泵研究进展

作者：王锐; 钱吉裕; 魏涛; 黄豪杰

来源：电子机械工程, 2021, 37(03): 28-64.

DOI：10.19659/j.issn.1008-5300.2021.03.006

• 射频微系统
• 高热流密度
• 微泵

随着射频电子装备不断向高集成度和大功率方向发展,传统开式循环冷却技术已不能满足系统微型化及高热流密度散热需求,急需发展闭式循环片上冷却技术。微泵是闭式冷却系统的核心部件,而目前微流控泵的性能与射频微系统大流量、高扬程的需求存在量级差异,因此亟待明确射频微系统微泵的发展方向,研制符合要求的高性能微泵,以解决射频微系统散热瓶颈,破除射频微系统性能提升的限制壁垒。

• 单位
  南京电子技术研究所