根据W波段行波管的设计要求,考虑加工设备的固有精度,编写测量程序,实现了折叠波导多周期微结构的自动精密测量。实际应用时,利用视频影像测量显微镜、工具显微镜、激光共聚焦显微镜和高度计完成了W波段行波管折叠波导慢波结构关键几何尺寸的全自动和半自动测量,分析了测量误差的来源,提出了最大限度减小误差的方法,各个尺寸的测量精度全部控制在1.5μm以内,测量时间从原来的3 h缩短到了1 h以内,显著提高了工作效率,为折叠波导行波管的批量生产节约了时间和人力成本。
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