文章设计并研制了8英寸硅片真空传输平台,介绍了该传输平台的整体结构,并对关键模块前端传输腔室VCE中的CTA传输手托盘系统进行了选型设计、机构分析。垂直升降系统采用丝杠传动,CTA传输手采用平面四连杆机构增大刚度。对传输手主动杆强度和变形量进行了有限元仿真分析。经过重复运行精度实验测试,整个平台达到了硅片制造要求。
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