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摘要
为获得不同环境温度下低温压力传感器的校准系数,提高压力测量的精度,着重介绍低温压力传感器校准系统设计,该校准系统具备温度自适应调整功能,为低温压力传感器校准提供温区连续、大范围温度可控的温度环境以及稳定可调的压力源,在一定程度上消除温度环境因素对传感器灵敏度的影响。通过低温压力传感器现场校准测试,获得压力传感器在不同温度环境下的工作特性并掌握其随温度变化的规律。
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单位西安微电子技术研究所; 西安航天动力试验技术研究所
为获得不同环境温度下低温压力传感器的校准系数,提高压力测量的精度,着重介绍低温压力传感器校准系统设计,该校准系统具备温度自适应调整功能,为低温压力传感器校准提供温区连续、大范围温度可控的温度环境以及稳定可调的压力源,在一定程度上消除温度环境因素对传感器灵敏度的影响。通过低温压力传感器现场校准测试,获得压力传感器在不同温度环境下的工作特性并掌握其随温度变化的规律。
