科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
碳化镍薄膜具有良好的催化活性、低电阻率、高的硬度以及可以作为石墨烯制备过程中的理想中间体等特点引起了人们的广泛关注。物理气相沉积技术制备的碳化镍薄膜多是微晶相嵌入碳基体中的复合结构薄膜，然而，通过化学气相沉积技术制备的薄膜是均匀相薄膜，电阻率低、电催化活性较好。此外，在高质量石墨烯的制备方面，碳化镍相起到提供碳源作用。本文从物理溅射技术、化学气相沉积技术和原子层沉积技术综述了碳化镍薄膜的制备方法，并且总结了碳化镍中间相对石墨烯形成的影响。
-
单位北京印刷学院
