探卡对功率器件导通压降测试的影响

作者：李乐乐; 肖海波; 张超; 王贤元; 潘昭海; 刘启军

来源：电子与封装, 2023, 23(06): 10-14.

DOI：10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0076

• 功率器件
• 导通压降
• 探卡
• 探针

功率半导体器件是各类电力电子装置的重要组成部分，对系统的效率、可靠性、功率密度等性能起着决定性作用。导通电阻作为器件最重要的参数之一，直接影响到该器件的使用。探卡是用于测试封装前芯片的一种精密的接触工装，探卡上探针的针尖分布和扎针位置对导通电阻测试有一定的影响，芯片面积和测试电流越大，对探卡测试的影响越大。基于以上分析，建立了探卡测试导通电阻模型。通过验证发现，在相同的探卡探针分布下，模型的精度大于96%；在不同的探卡探针分布下，模型的精度大于87%。

• 单位
  株洲中车时代电气股份有限公司