探卡对功率器件导通压降测试的影响

作者:李乐乐; 肖海波; 张超; 王贤元; 潘昭海; 刘启军
来源:电子与封装, 2023, 23(06): 10-14.
DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0076

摘要

功率半导体器件是各类电力电子装置的重要组成部分,对系统的效率、可靠性、功率密度等性能起着决定性作用。导通电阻作为器件最重要的参数之一,直接影响到该器件的使用。探卡是用于测试封装前芯片的一种精密的接触工装,探卡上探针的针尖分布和扎针位置对导通电阻测试有一定的影响,芯片面积和测试电流越大,对探卡测试的影响越大。基于以上分析,建立了探卡测试导通电阻模型。通过验证发现,在相同的探卡探针分布下,模型的精度大于96%;在不同的探卡探针分布下,模型的精度大于87%。

  • 单位
    株洲中车时代电气股份有限公司

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