InP/空气隙结构的制作与特性

作者：刘成; 曹春芳; 劳燕锋; 曹萌; 吴惠桢

来源：光电子-激光, 2008, (09): 1188-1191.

DOI：10.16136/j.joel.2008.09.011

• InP/空气隙
• 侧向腐蚀
• 微拉曼光谱 InP/air-gap
• lateral etching
• micro-Raman spectrum

研究了采用不同溶液制作InP/空气隙的侧向腐蚀工艺,对腐蚀速率、晶向选择性、表面形貌进行了分析;研究了粘附释放工艺;在上述基础上制作完成了InP/空气隙结构,并采用微拉曼光谱来分析其应力分布情况,证实了制作工艺的可靠性。

• 单位
  信息功能材料国家重点实验室; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所