高频有机聚合物SAW湿度传感器的研究

作者：王华; 应智花; 杜晓松; 蒋亚东; 谢光忠; 何为

来源：压电与声光, 2007, (06): 625-627.

• SAW传感器
• 双端口谐振型
• 聚乙烯吡咯烷酮
• 湿度传感器 surface acoustic wave sensor
• two-port resonator
• polyvinylpyrrolidone(PVP)
• moisture sensor

以双端口433.92 MHz的SAW谐振器(SAWR)为敏感元件,分别以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)、磺基水杨酸(SSA)掺入PVP为敏感材料。对PVP掺杂前后湿度传感器的性能测试表明,沉积有PVP的SAWR感湿元件回复缓慢,可逆性差,而沉积SSA-PVP的感湿元件则表现出明显的可逆性,其响应速率和回复性明显均优于单一的PVP传感器,且响应频率与湿度表现出明显地线性相关性,其相关系数R可达0.996 21。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 光电信息学院; 电子科技大学