化学机械抛光技术研究现状及进展

作者：董伟

来源：制造技术与机床, 2012, (07): 93-97.

• 化学机械抛光
• 研究现状
• 研究进展 Chemical Mechanical Polishing
• Research Situations
• Research Developments

通过回顾化学机械抛光技术的发展历史,概述化学机械抛光技术的实际应用情况,着重阐述了化学机械抛光技术的作用机理、主要构件(抛光机、抛光垫、抛光液)以及抛光工艺参数对加工过程的影响,进一步展望了化学机械抛光技术的发展前景与研究方向。

• 单位
  广东技术师范学院天河学院