不同Ti靶电流对Ti掺杂类石墨碳膜的结构和性能的影响(英文)

王永欣; 王立平; 薛群基

摘要

利用磁控溅射的方法成功制备Ti掺杂类石墨碳(Ti-GLC)膜。采用拉曼光谱、X射线光电子谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、纳米压痕仪和球盘式摩擦机分别表征不同Ti靶电流下制备的Ti-GLC膜的成分、结构和性能。随着Ti靶电流的增加,薄膜中sp2键的比率和Ti含量增加,同时薄膜的硬度和内应力也增大,但较高的Ti靶电流将会促使薄膜产生鳞片状结构从而使其变疏松。较少的Ti掺入量可以降低GLC膜的干摩擦因数,纯GLC膜在水润滑条件下的摩擦因数最低。在较低Ti靶电流下制备的Ti-GLC膜在干摩擦及水润滑条件下均具有较高的抗磨性能。

单位
中国科学院兰州化学物理研究所; 固体润滑国家重点实验室; 中国科学院研究生院

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更新时间：2024-05-25 08:17

不同Ti靶电流对Ti掺杂类石墨碳膜的结构和性能的影响(英文)

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