Si基SiGe光波导开关的研究现状与最新进展

作者：李静; 赵玉周; 林旭彬; 胡巧燕; 李章健; 陈志文

来源：半导体光电, 2004, (06): 417-422+425.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2004.06.002

• 光开关
• SiGe
• 光波导
• 等离子体色散效应 optical switch
• SiGe
• optical waveguide
• plasma dispersion effect

　随着光纤通信技术的迅猛发展,作为光交叉连接和光分插复用核心器件的光开关的作用日益突出。其中Si基光波导开关由于其成本低、可靠性高、器件制作工艺成熟等诸多优点而备受重视。综述了目前Si基光波导开关,特别是SiGe材料光波导开关的研究现状和进展。

• 单位
  光电材料与技术国家重点实验室; 中山大学