摘要
设计、研制了一种新型小体积,低成本,易于批量生产的高分辨率光纤加速度计。该加速度探头为全光纤结构,采用相位生成载波(PGC)技术对光纤干涉信号进行调制和解调,获得高精度相位信号。对样机测试结果表明,该高分辨率光纤加速度计在0~100 g的大动态范围内可分辨3×10~(-4) g,最高分辨率可达10~(-6)。其结构采用了一种新颖的由加速度产生位移干涉信号的圆网状弹性结构和硅微镜装置,用Cosmosworks工程软件对该弹性结构进行了应变分析并与实验测试进行对比。整体设计结果与实验测量符合较好。
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单位浙江大学; 现代光学仪器国家重点实验室