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摘要
本发明公开了一种空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法,包括支撑衬底、支撑层、薄膜结构层和顶电极；所述支撑衬底、支撑层与所述薄膜结构层形成的空腔为空气腔体,所述支撑衬底为空气腔底；所述支撑层设置在支撑衬底表面边缘处,形成空气腔壁；所述薄膜结构层设置在支撑衬底上,形成空气腔盖；所述薄膜结构层从下至上分别为底电极、压电层,所述顶电极位于所述压电层上。所述制备方法无需采用CMP工艺,无需引入牺牲层,保证压电层的晶体质量不受损伤,同时简化生产工艺,降低设备成本。该叠层支撑结构的空腔型薄膜体声波谐振器适用于超薄压电薄膜在FBAR中的应用,有益于提升射频滤波器器件工作频率,降低功耗,缓解目前无线频段紧张的现状。
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