高端集成电路工艺实验室管理探究

作者：张立锋; 徐赛生; 王凡; 丁士进; 张卫

来源：实验室科学, 2020, 23(04): 170-172.

DOI：10.3969/j.issn.1672-4305.2020.04.044

• 集成电路
• 工艺实验室
• 工艺标准化

随着集成电路产业的发展,国内集成电路人才缺口很大。各高校也都加快了建设集成电路实验室的步伐。以复旦大学微电子学院的集成电路工艺实验室为样本,从团队分工,实验室安全管理制度,工艺标准化开发以及实验室的共享和开放四个方面来研究高端集成电路工艺实验室的管理问题。为国内兄弟院校在管理集成电路实验室方面提供参考。

• 单位
  复旦大学