利用钛保护层在ITO电极上直接制备大面积的超薄氧化铝膜

作者：肖立新; 段来强; 柴俊一; 王芸; 陈志坚; 曲波; 龚旗煌

来源：Acta Physico - Chimica Sinica, 2011, (3): 749-753.

• 阳极氧化铝
• 薄膜
• 氧化铟锡透明电极
• 钛保护层
• 磁控射频溅射

通过磁控溅射并引入钛保护层,利用在0.3 mol·L-1硫酸中20 V电压下二次阳极氧化,在氧化铟锡(ITO)导电玻璃衬底上直接制备了超薄(约140 nm,为阳极氧化前AI厚度的一半)、大面积(约4 cm2)的多孔阳极氧化铝(AAO).扫描电子显微镜结果表明生成的微孔与衬底垂直,孔径和孔间距分别约为30和60 nm.我们发现钛保护层的作用是提高了AI层的附着性并且防止ITO被腐蚀,在此体系中钛

• 单位
  人工微结构和介观物理国家重点实验室; 物理学院; 北京大学