电磁驱动二维精密平面运动平台设计与控制

作者：张威; 周海波^*; 黄珍里; 孔志平; 段吉安

来源：中南大学学报(自然科学版), 2020, 51(05): 1221-1227.

DOI：10.11817/j.issn.1672-7207.2020.05.006

• 电子封装
• 二维精密平台
• 前馈补偿

针对由多个单自由度累加而成的多自由度平台存在误差累积精度难提高的局限性,提出一种基于直线电机驱动的X-Y二维平面运动平台。利用1对正交布置的直线轴承进行平面运动解耦,实现二维平面运动;基于直线电机的力学模型,推导平台的基本控制模型;基于平台的非线性阻力,提出一种具有非线性阻尼前馈补偿的PI控制器。研究结果表明:在全行程(<19 mm)运动过程中,平台在实现平面运动的同时,达到厘米级运动行程和亚微米级运动精度,验证了平台的可靠性和控制器的有效性。

• 单位
  中南大学; 高性能复杂制造国家重点实验室