溶液法制备铟镓锌氧薄膜晶体管及其性能研究

作者：史恺; 杨小天^*

来源：吉林建筑大学学报, 2019, 36(04): 78-82.

• 薄膜晶体管(TFT)
• 铟镓锌氧(IGZO)
• 溶液法制备
• 电学性能

本文介绍了薄膜晶体管的结构及工作原理,并概述了几种常见的制备氧化物材料工艺方法,其中对溶液方法制备铟镓锌氧有源层进行了详细阐述.溶液法制备更有利于元素配比的调控,制备方法更灵活,可适用于大面积的生产.本文利用旋涂法和喷墨打印法制备了铟镓锌氧化物薄膜晶体管,并进行了电学性能测试与分析.

• 单位
  吉林建筑大学