摘要

本实用新型涉及元素分析仪,特别涉及激光诱导击穿光谱法的元素分析仪。一种精确靶点定位的激光诱导击穿光谱元素分析仪,其主要特点在于包括有脉冲激光器通过激光传输系统将激光束传导到样品室内的分析样品上,靶点精确定位系统设在样品室上,靶样品发射光谱通过固定在靶点精确定位系统的传输光纤与光谱仪连接。本实用新型的优点是整套LIBS分析仪由独立的激光系统、导光系统、定位系统以及样品室组成,既可以作为一台设备使用,也可以方便的更换不同参数的激光源使用,或不使用样品室直接对原位样品分析,扩展该分析仪的应用范围,促进仪器的实用化、商业化。靶点精确定位系统可实现三维空间的微米量级定位,以及靶点的自动修正,提高分析仪器测量分析结果的准确性,提升仪器分析元素的灵敏度。