AlN陶瓷激光金属化的研究进展

作者：黄平奖; 王晓峰; 李琦; 张紫辰; 潘岭峰

来源：激光与光电子学进展, 2017, 54(07): 18-26.

• 激光光学
• 金属化
• 光束类型
• AlN

介绍了氮化铝(AlN)陶瓷激光金属化的进展和金属化过程中的问题以及主要解决方法。激光金属化利用激光的热效应使AlN表面发生热分解,直接生成金属导电层,该方法具有成本低、效率高、设备维护简单等优点。进一步介绍了激光器、光束质量、工艺参数等的优化方法以及AlN陶瓷金属化的应用,并对AlN陶瓷激光金属化在未来的发展进行了展望。

• 单位
  精密测试技术及仪器国家重点实验室; 中国科学院微电子研究所; 中国科学院半导体研究所; 桂林电子科技大学; 清华大学