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摘要
在光电检测中,激光三角法测量具有传输距离长、检测精度高、测量点小、测量速度快、非接触测量等优点,应用广泛。采用直接激光三角法测量微小位移,得到电荷耦合器件中心点位移与物体微小位移的定量关系。使用高斯拟合法、传统灰度质心法、二次方加权质心法进行精度分析,结果表明,二次方加权质心法可以更为有效地对像素点进行细分和定位,从而更为有效地提高系统的测量精度。
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在光电检测中,激光三角法测量具有传输距离长、检测精度高、测量点小、测量速度快、非接触测量等优点,应用广泛。采用直接激光三角法测量微小位移,得到电荷耦合器件中心点位移与物体微小位移的定量关系。使用高斯拟合法、传统灰度质心法、二次方加权质心法进行精度分析,结果表明,二次方加权质心法可以更为有效地对像素点进行细分和定位,从而更为有效地提高系统的测量精度。
