偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性

作者：赵雷; 陈涌海; 左玉华; 王海宁; 时文华

来源：光谱学与光谱分析, 2006, 26(07): 1185-1189.

DOI：10.3321/j.issn:1000-0593.2006.07.001

• 偏振差分反射光谱
• 半导体
• 平面内光学各向异性
• 电光改性 Reflectance difference spectroscopy
• Semiconductor
• In-plane optical anisotropy
• Electrooptic modification

介绍了偏振差分反射光谱的原理,并结合半导体材料平面内光学各向异性的来源,总结了偏振差分反射光谱作为一种重要的表面、界面分析技术在半导体材料研究中的应用,并分析指出其在Si基材料电光改性研究中将会起到重要作用。

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院半导体研究所