空间光学微位移促动器的定位测控研究

作者:张雅琳; 梁凤超; 王淳; 何海燕; 孙伟健
来源:计算机测量与控制, 2020, 28(07): 121-126.
DOI:10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2020.07.025

摘要

为解决大口径空间光学镜面在轨组装技术的高精度定位需求,设计了一种微位移促动器,并对单促动器和多促动器六自由度平台分别进行了定位测控研究;通过建立单促动器的运动学方程、多促动器六自由度平台的运动学方程,解决了微位移促动器的高精度定位问题;搭建了实验硬件系统,编写了软件控制程序,对单促动器分别进行了小步长测试和大步长测试,并对多促动器六自由度平台进行了定位测试;实验结果表明,设计的微位移促动器达到了行程25mm的情况下,定位精度误差小于20nm的指标要求;多促动器六自由度平台的定位精度达到了单向平移重复精度误差小于30nm,角度精度误差小于0.02μrad的设计指标。

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