基于参数激励的MEMS陀螺电馈通抑制方法

作者：赵鹤鸣; 郑奋; 程梦梦; 徐大诚; 郭述文

来源：中国惯性技术学报, 2018, 26(06): 817-829.

DOI：10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2018.06.019

• 硅微陀螺仪
• 参数激励法
• 刚度系数
• 电馈通干扰

由于硅微陀螺仪材料和加工工艺以及电路上的非理想因素,驱动信号会对敏感检测端产生串扰。为抑制此种串扰,降低驱动激励幅度,采用了基于参数激励法的陀螺驱动模态激励系统。在锁相环控制中新增一个压控振荡器模块,用于输出稳幅的二倍谐振频率激励信号,即参数激励信号。将此信号与驱动激励信号一同对驱动激励电极进行激励,达到了降低刚度系数来减小驱动对敏感电馈通干扰的目的。实验结果表明,参数激励法对陀螺仪进行激励,将陀螺仪敏感输出信号幅度从141.25 m V降至38.75 m V,Allan方差零偏不稳定性从6.864 (°)/h降至4.316 (°)/h。表明了参数激励法对陀螺仪性能具有一定的提升作用。

• 单位
  苏州大学