论失效分析方法及流程

作者:王起; 王时光
来源:电子测试, 2020, (03): 47-48.
DOI:10.16520/j.cnki.1000-8519.2020.03.019

摘要

随着微电子业的飞速发展,失效分析广泛应用于宇航、工业、军品和民用产品中。失效分析是对失效器件进行分析检查,找出失效发生的原因,从而为改进、提高器件可靠性指明方向,在可靠性工程中具有重要的作用。