长波长半导体激光器波导层设计

作者：高少文; 曹俊诚; 封松林

来源：稀有金属, 2004, (03): 533-535.

DOI：10.13373/j.cnki.cjrm.2004.03.023

• 量子级联激光器
• 波导
• 表面等离子体激元 quantum cascade laser
• waveguide
• surface plasmon

研究了一种新型的 ,基于金属 /半导体界面等离子体激元的波导结构 ,从理论上对激射波长在 17μm的GaAs AlGaAs量子级联激光器的波导层设计进行了讨论 ,分别研究了传统的递变低折射率波导设计和等离子体激元波导设计。结果表明 ,利用表面等离子体激元进行波导设计 ,可以降低波导层厚度和提高光场限制因子 ,从而为长波段 (如太赫兹频段 )激光器提供了一种有效的波导设计方法。

• 单位
  中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 信息功能材料国家重点实验室