C波段小型化高温超导三工器研制

作者：蒋润博; 严少奇; 李金丁; 张晓玲; 孟庆端^*

来源：低温与超导, 2022, 50(11): 15-19.

DOI：10.16711/j.1001-7100.2022.11.003

• 高温超导
• 三工器
• 分支线
• 传输零点

研制出一款用于量子计算机的小型化高温超导三工器，三工器由三个带通滤波器和一个分支线结构组成。基于阶跃阻抗谐振器(SIR)设计带通滤波器，借助交叉耦合，在通频带的两侧引入两对传输零点，以提高带边陡度。借助电路仿真软件ADS对分支线结构进行建模、优化，借助电磁仿真软件Sonnet对整个三工器进行全波电磁仿真，优化得到微带版图。进行光刻和刻蚀工序，在双面涂敷钇钡铜氧(YBCO)超导薄膜的氧化镁基片上制备出三工器，经切割和封装后进行测试。结果表明，三工器的3 dB带宽分别涵盖6.37～6.65 GHz、6.71～7.00 GHz和7.06～7.35 GHz,带内插入损耗分别为0.28 dB、0.20 dB和0.48 dB,满足应用需求。

• 单位
  河南科技大学