溶胶凝胶制备氧化钒薄膜的生长机理及光电特性

何琼; 许向东; 温粤江; 蒋亚东; 敖天宏; 樊泰君; 黄龙; 马春前; 孙自强

摘要

采用溶胶凝胶法,在不同的退火温度下制备了不同的氧化钒薄膜.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、高阻仪、紫外-可见分光光度计和傅里叶红外光谱仪等,对薄膜的形貌、晶态、电学和光学特性进行了分析.结果表明,溶胶凝胶法获取V2O5薄膜的最佳退火温度为430℃,低于此温度不利于使有机溶剂充分分解,高于此温度则V—O键发生裂解、形成更多的低价态氧化钒.本文制备的氧化钒薄膜具有较高的电阻温度系数和光吸收率,适合应用在非制冷红外探测器中.本文揭示了溶胶凝胶法制备氧化钒薄膜的生长机理.

单位
电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学; 光电信息学院

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更新时间：2020-06-18 00:35

溶胶凝胶制备氧化钒薄膜的生长机理及光电特性

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