应用于微纳光子器件的立体光刻研究进展

作者：吴琦; 梁艳明; 周建英

来源：湖南科技学院学报, 2010, (04): 42-46.

• 光刻
• 立体光刻
• 全息光刻
• 光子晶体

本文概述了光刻技术的广泛应用并探讨其今后的发展方向,分析比较了几种常见立体光刻技术的优缺点,重点介绍了全息光刻技术在制备光子晶体方面的应用,并总结了我们小组的研究成果。

• 单位
  中山大学; 光电材料与技术国家重点实验室