图形反转剥离工艺用于复合含能点火桥膜的制备

作者：王成玲; 叶迎华; 沈瑞琪; 杨程; 余协正; 朱莹

来源：火工品, 2012, (04): 1-5.

• MEMS
• 图形反转
• 剥离
• 含能桥膜
• 点火 MEMS
• Image reversal
• Lift-off
• Energetic bridge film
• Ignition

为了制备高点火能力的复合含能桥膜,对图形反转剥离工艺进行研究,发现其倒梯形的光刻胶剖面有利于制备高精度的厚膜图形。以Ti为过渡层,在Si3N4/Si基底上成功制备出线宽80μm、厚度2μm的W型Ni/Al多层复合含能桥膜,形状完整清晰;SEM和EDS分析表明,桥膜表面晶粒均匀,成分稳定。采用高速摄影仪分别拍摄了等尺寸、等厚度的Al桥膜、Ni桥膜和Ni/Al复合桥膜在100μF电容(140V充电电压)放电下的无药点火情况,发现Ni/Al复合桥膜反应迅速,火焰喷射面积更大,并能抛撒出大量火花,且持续时间最长。

• 单位
  北京动力机械研究所; 南京理工大学