一种真空氦漏孔配气装置的改进研究

作者:王爱华; 关卫军; 边松岩; 韩柳
来源:工业仪表与自动化装置, 2023, (04): 125-128.
DOI:10.19950/j.cnki.cn61-1121/th.2023.04.024

摘要

针对在真空氦漏孔校准过程中,所使用的配气装置压力输出范围小,与缺少高等级的采集仪表造成无法准确指示管道内气压与真空度的问题。本文主要针对此类的真空氦漏孔配气装置进行了改进,根据相关校准规范中规定的真空氦漏孔配气需求,采用了增加配气支路,及增加高等级的压力传感器与真空计的方法,实现了为真空氦漏孔进行校准的过程提供真空疏空、压力调节的功能,满足了真空氦漏孔校准过程中的大范围压力输出,与高输出准确度的配气需求。

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