温度处理对聚酰亚胺薄膜性能的影响研究

作者：王超; 舒振; 单晗; 刘军山^*

来源：机电工程技术, 2018, 47(11): 26-50.

• 聚酰亚胺
• 温度处理
• 弹性模量
• 硬度
• 抗溶剂性能

将PW-1500S型、FB-5410型和ZKPI-520型三种不同的聚酰亚胺前驱体制备成聚酰亚胺薄膜,研究温度处理对不同型号聚酰亚胺薄膜的弹性模量、硬度、抗溶剂性能以及抗氢氟酸缓冲液腐蚀性能的影响。实验表明:3种型号的聚酰亚胺薄膜经温度处理后,其弹性模量、硬度、抗溶剂性能和抗氢氟酸缓冲液腐蚀性能没有明显变化。此外,溅射在PW-1500S型和ZKPI-520型聚酰亚胺薄膜上的金薄膜,经温度处理后薄膜表面没有出现缺陷;而溅射在FB-5410型聚酰亚胺薄膜上的金薄膜,经350℃保温30 min的温度处理后表面出现了微小缺陷。

• 单位
  中国工程物理研究院电子工程研究所; 大连理工大学