加速特征相关(FD)干法刻蚀的工艺发展

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(05): 68-70.

SEMulator3D中可视刻蚀特征提供了一种模拟与现实刻蚀腔室接近的刻蚀速率的方法。