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摘要
本发明实施例提供的一种差分异质互连通孔等效电路的分布参数的全波提取方法,获取差分异质互连通孔的物理结构的三维模型以及基于该三维模型建立的等效电路,使用该等效电路实现差分异质互连通孔的分析,可以降低计算等效电路分布参数复杂度,计算该三维模型的差分S参数矩阵,基于所述差模散射参量矩阵和共模散射参量矩阵,计算该等效电路的差模特征阻抗、共模特征阻抗、奇模传播常数以及偶模传播常数,基于所述等效电路的差模特征阻抗、共模特征阻抗、奇模传播常数以及偶模传播常数,计算该等效电路的分布参数,可以降低分析差分异质互连通孔的复杂度。
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