n型IBC太阳电池选择性发射极工艺研究

作者：高嘉庆; 郭永刚; 屈小勇; 吴翔; 张天杰; 张博; 刘洪东

来源：人工晶体学报, 2022, 51(11): 1929-1935.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2022.11.013

• IBC太阳电池
• 选择性发射极
• 硼浆
• 丝网印刷
• 硼扩散
• 光电转换效率

为提升n型叉指背接触(IBC)太阳电池的光电转换效率，采用丝网印刷硼浆和高温扩散的方式形成选择性发射极结构，研究了硼扩散和硼浆印刷工艺对电池发射极钝化性能和接触性能的影响。实验结果表明，在硼扩散沉积时间和退火时间一定的条件下，硼扩散通源(BBr3)流量为100 mL/min,沉积温度为830℃,退火温度为920℃时，发射极轻掺杂(p+)区域的隐开路电压达到710 mV,暗饱和电流密度为12.2 fA/cm2。发射极局部印刷硼浆湿重为220 mg时，经过高温硼扩散退火，重掺杂(p++)区域的隐开路电压保持在683 mV左右，该区域方块电阻仅46Ω/,金属接触电阻为2.3 mΩ·cm2.采用该工艺方案制备的IBC电池最高光电转换效率达到24.40%,平均光电转换效率达到24.32%,相比现有IBC电池转换效率提升了0.28个百分点。

• 单位
  青海黄河上游水电开发有限责任公司