表面等离子共振Ag-SnO_2复合膜光学传感器

作者：符运良; 孔令光; 傅军; 袁一方

来源：激光技术, 2007, (03): 250-252+256.

DOI：10.3969/j.issn.1001-3806.2007.03.007

• 薄膜
• Ag-SnO2复合膜
• 表面等离子共振
• 共振角
• 介电常数

为了研究CuO的不同掺杂浓度对表面等离子共振角的影响,提出一种新型的棱镜耦合法Ag-SnO2(掺杂CuO)复合膜表面等离子共振光学传感器结构。采用射频反应溅射法在清洗处理后的金红石棱镜上依次制备Ag膜(50nm),SnO2膜(50nm),CuO和SnO2膜(50nm)4层膜结构,CuO的厚度依其不同的掺杂体积分数的不同而不同,经过退火实现SnO2薄膜的掺杂得到复合膜。以He-Ne激光632.8nm为入射激励光源,通过采用表面等离子共振实验方法,CuO的掺杂体积分数分别为0,0.01和0.05时,得到共振角分别为59.61°,60.52°和61.3°的结果。结果表明,CuO掺杂的体积分数越大,表面等离子共振的共振角越大。

• 单位
  海南师范学院; 电子信息工程学院; 上海理工大学