大面积户外照明光学薄膜膜厚均匀性研究

作者：王小辉; 卫红; 曹一鸣; 刘志宇; 盘巍; 姬海峰

来源：光学仪器, 2006, (04): 172-175.

• 光学薄膜
• 膜厚均匀性
• 户外照明
• 平面行星夹具 optical film
• thickness uniformity
• outdoor lighting
• flat planetary holder

户外照明采用大面积光学薄膜,对薄膜均匀性提出较高的要求。采用平面公自转行星夹具镀制户外照明用大面积光学薄膜,分析计算了光学薄膜膜厚的均匀性,探讨各个参数对膜厚均匀性的影响,经测试分析,得到理论偏差和实际偏差结果。

• 单位
  广州市光机电技术研究院