<正>在过去的20年间,微米和纳米尺度上表面结构的微加工或图案化及其相关性质的研究逐步成为热点问题.许多现代技术发展的机会都来源于新型微观结构的成功构造或现有结构的小型化.在集成电路、信息存储器件、微机电系统、小型传感器、微液流器件、生物器件和微型光学元件等领域中,更快响应速度、更廉价成本、更低能耗和更优性能的实现就是得益于迅速发展起来的微加工
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