一种单晶金刚石与衬底无损耗快速分离方法

作者：任泽阳; 邢雨菲; 张金风; 张进成; 何琦; 苏凯; 郝跃

来源：2020-07-08, 中国, ZL202010653578.2.

本发明涉及一种单晶金刚石与衬底无损耗快速分离方法,包括步骤：S1、选取表面为(100)晶面的单晶金刚石作为衬底；S2、在所述衬底的表层中形成表面为(100)晶面的非金刚石层；S3、刻蚀所述非金刚石层和所述衬底,形成若干表面为(111)晶面的凹槽；S4、在所述非金刚石层的(100)晶面上选择性外延生长金刚石,形成外延层；S5、利用电化学腐蚀方法将所述凹槽之间的所述非金刚石层电解刻蚀掉,使所述外延层与所述衬底分离。该分离方法在金刚石衬底上预先刻蚀(111)晶面的凹槽,然后进行(100)晶面选择性外延,之后利用电化学腐蚀方法刻蚀掉相邻凹槽间的非金刚石层,实现分离衬底与外延层的目的,由于腐蚀深度小,大幅度提升了分离速度。

• 单位
  西安电子科技大学