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摘要
本发明属于微波测试技术领域,公开了一种微波近场探针空间分辨率分析方法、系统、微波显微镜,所述微波近场探针空间分辨率分析方法利用准静态理论计算出的电场公式画出样品中的三维等势面；利用有限元分析软件建立探针样品等效模型,在三维等势面之外的区域改变材料的特性；观察改变材料对样品中电势分布的影响,确定探针的近场作用范围,分析计算微波近场扫描显微镜的空间分辨率。本发明能够对现有使用的微波近场探针空间分辨率进行理论推算,根据推算结果指导探针的应用场景；能够指导微波近场探针的设计,从而在设计阶段就可以优化探针的空间分辨率；从理论角度说明影响探针空间分辨率的因素,不仅与探针尖端尺寸有关系,还和探针样品之间的距离有关系。
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