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摘要
本发明公开了一种旋转轴五自由度误差运动的精密测量装置及方法,包括固定测头模块和主探测器模块,其中：固定测头模块包括圆台透镜；主探测器模块包括固定支架,固定支架内设有第一激光器和第一四象限位移探测器,第一激光器射出的激光与旋转轴轴线的夹角大于0°、小于90°,固定支架内还设有第二激光器、第二四象限位移探测器、第三激光器和第三四象限位移探测器。本发明采用的测量方法利用圆台透镜进行多次反射,精度更高,对于精度要求较高的旋转轴运动误差运动有很好的测量精度。本发明采用的材料和装置成本低于传统校准的仪器装备价格,在很大程度上节省了测量成本。
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