二维多孔Si/Al2O3/SiC薄膜材料的透射电镜截面微观结构表征中，存在薄膜易脱落、脆性大、耐磨性差，以及选区制备难度大、制样效率低、成功率低等问题。采用聚焦离子束技术，成功地进行了二维多孔Si/Al2O3/SiC薄膜的透射电镜截面微观形貌的表征。结果表明，聚焦离子束技术是一种可以有效减少二维多孔薄膜样品制备过程中的损伤，进行高质量进行透射电镜截面微观结构表征的方法。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
