一种高通量筛选用Cr-Fe-V-Ta-W系高熵合金薄膜及其制备方法

作者：张勇; 邢秋玮; 张蔚冉

来源：2018-01-22, 中国, CN201810058761.0.

本发明提供一种高通量筛选用Cr-Fe-V-Ta-W系高熵合金薄膜及其制备方法,属于高熵合金领域。本发明提供的高通量筛选用Cr-Fe-V-Ta-W系高熵合金薄膜,成分表达式为：(CraFebVc)100-x(TadWe)x,6<x<100；a、b和c的取值满足Cr、Fe和V中任意两种元素的物质的量之差不超过各元素总物质的量的2％；d和e的取值满足Ta和W的物质的量之差不超过各元素总物质的量的3％；所述高通量筛选用Cr-Fe-V-Ta-W系高熵合金薄膜的横向为相同成分,纵向Cr、Fe和V的原子百分含量呈梯度分布。本发明方法简单,通量高,能够通过一次共溅射得到成分梯度分布的高通量筛选用Cr-Fe-V-Ta-W系高熵合金薄膜。

• 单位
  北京科技大学